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日本嚴(yán)選??！ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵

日本嚴(yán)選?。LVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

  • 更新時(shí)間：2025-06-07
  • 產(chǎn)品型號(hào)：GR60A
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：18
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產(chǎn)品詳情

日本嚴(yán)選?。LVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A

日本嚴(yán)選??！ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A


干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

特點(diǎn)

  • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

  • 適用load lock室（裝載/卸載室），可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。

  • 感應(yīng)電機(jī)可通用

  • 可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）

  • 采用多電壓兼容電機(jī)

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

  • 真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號(hào)

GR60A

GR90A

GR180A

最大排氣速度

50Hz

m3/h(L/min)

62(1030)

112(1860)

183(3100)

60Hz

m3/h(L/min)

80(1333)

126(2100)

237(3850)

極限壓力 *1

Pa

5.0

最大排氣壓力（吸入圧力）

大氣壓

最大排氣口壓力（排出圧力）

Pa

1.0 ~ 大氣壓

吸氣口

VG50

VG80

排氣口

NW40

DRP表面處理

〇

電機(jī)

輸出 [kW]

2.2

3.7

7.5

電壓 [V]

50Hz

200~240/380~415

60Hz

200~240/380~460

質(zhì)量

kg

128

188

268

冷卻方式

冷卻水
一次供給壓力

MPa

0.1~0.3

冷卻水
出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水溫度

℃

10~30 *2

冷卻水流量

L/min

>5.0

氮?dú)?/span>

一次側(cè)
供給圧力

MPa

0.1~0.5

二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3

MPa

0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí))

軸

SLM

5.0 *4

*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0SLM。


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