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原廠直發(fā)??！ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵

原廠直發(fā)??！ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 HR90
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

  • 更新時(shí)間：2025-06-06
  • 產(chǎn)品型號(hào)：HR90
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問(wèn)  量：9
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產(chǎn)品詳情

原廠直發(fā)！！ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 HR90

原廠直發(fā)?。LVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 HR90


通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

    特點(diǎn)

    • 高溫區(qū)域均熱化
      實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
      “Model:UR"可比“Model:HR"更加高溫化。

    • 氦氣密封
      通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

    • 瞬停對(duì)策
      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

    • 出色的耐腐蝕性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

    • 通信功能
      可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

    用途

    • CVD裝置

    • 蝕刻裝置

    • 灰化裝置

    • ALD、ALH 等

    規(guī)格

    型號(hào)HR60HR90HR300HR600HR1200
    使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
    機(jī)械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
    最大
    排氣速度    		50Hzm3/h
    (L/min)    		62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
    60Hzm3/h
    (L/min)    		80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
    到達(dá)壓力Pa50.67
    最大排氣壓力
    （吸入圧力）
    		大氣壓 *1
    最大排氣壓力
    （吸入圧力）    		Pa1~ 大氣壓
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
    排氣口KF40
    質(zhì)量kg180245275370420
    電源三相VAC
    (Hz)    		200(50/60), 220(60)
    電流值穩(wěn)定時(shí)A7.1
    (at 200V)    		11.2
    (at 200V)    		7.8
    (at 200V)    		12.9
    (at 200V)    		15.4
    (at 200V)
    最大值A7.3
    (at 200V)    		11.8
    (at 200V)    		8.1
    (at 200V)    		13.8
    (at 200V)    		18.9
    (at 200V)
    冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
    冷卻水出入口壓差MPa>0.1
    冷卻水流量L/min>5.0
    吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
    二次壓力MPa0.05~0.1
    N2吹掃軸SLM5
    氣鎮(zhèn)SLM0~45

    、HR600、HR1200請(qǐng)勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。




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